過高的加速電壓會帶來過強的穿透力，導(dǎo)致電子束穿透樣品表層，反而模糊了表面的真實細節(jié)，無法獲得清晰的表面形貌。

對于非導(dǎo)電樣品，高電壓會加劇荷電效應(yīng)，造成圖像漂移、畸變，嚴重影響成像質(zhì)量。

針對生物、高分子等對電子束敏感的材質(zhì)，高電壓帶來的強輻照會直接破壞樣品的真實結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致觀察到的并非樣品本征狀態(tài)。

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